幹涉法利用光波幹涉原理對表麵粗糙度進行測量。

　　針刺描述法是用觸針在被測表麵上輕輕劃過，以測量表麵粗糙度的 Ra值。

　　車間中普遍采用比較法。用肉眼或借助放大鏡，比較顯微鏡對被測表麵的粗糙度樣板進行比較；還可用手觸摸，指甲劃動感來判斷被加工表麵的粗糙度。此方法通常用於粗糙度參數較大的近似評價。

　　光切的方法是利用“光切原理”測量表麵粗糙度。

　　當粗糙度儀測量工件表麵粗糙度時，將傳感器置於工件被測表麵上，由粗糙度儀內部驅動機構驅動傳感器，沿被測表麵做等速滑行，傳感器通過內置的銳利觸針感覺到被測表麵的粗糙度，此時觸針會產生位移，這種位移會改變傳感器電感線圈的電感量，從而在相敏型整流器的輸出端產生與被測表麵粗糙度成比例的模擬信號，信號經放大和電平轉換後進入數據采集係統， DSP芯片對采集到的數據進行數字濾波和參數計算，粗糙度儀測量結果在液晶顯示器上讀取，也可在打印機上輸出，並可與 PC機通信。